為了進(jìn)行潔凈度高的潔凈室的照明設(shè)計(jì)，首先要介紹潔凈車間的潔凈度和潔凈的氣流模式。在新的《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001中，對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的規(guī)定進(jìn)行了很多修改。GBJ73-84規(guī)定，空氣潔凈度分為100、1000和10000100,000四個(gè)等級(jí)，隨著微電子和集成電路產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈室對(duì)空氣潔凈度的要求越來(lái)越高，需要將粉塵顆粒的粒徑控制在0.1μm以下。

為了與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致，均采用了新規(guī)范。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1的相關(guān)規(guī)定將空氣清潔度級(jí)別從4級(jí)提高到9級(jí)，即1級(jí)和2級(jí)···9級(jí)

規(guī)格中也明確規(guī)定了清潔空氣的流動(dòng)方式選擇?！皩?duì)于空氣清潔度等級(jí)為1至4，應(yīng)使用垂直單向流；當(dāng)要求空氣清潔度等級(jí)為5時(shí)，應(yīng)使用垂直流。單向流或水平單向流；在6至9級(jí)時(shí)，應(yīng)使用非單向流”。

所謂氣流方式，就是合理設(shè)計(jì)室內(nèi)潔凈空氣的流動(dòng)方式和分布。其特點(diǎn)：應(yīng)考慮避免或減少渦流，有利于迅速有效地去除污染物，并應(yīng)試圖限制和減少室內(nèi)污染源散發(fā)的粉塵和細(xì)菌的擴(kuò)散，并保持空氣清潔室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境要求的級(jí)別。

由于無(wú)塵室的特殊性，一般潔凈燈照明燈具的選擇應(yīng)使用光滑的外觀，并且不平坦的表面應(yīng)充滿灰塵，灰塵易于清潔，并且由不適合產(chǎn)生靜電的材料制成。除了滿足照度要求外，還應(yīng)根據(jù)室內(nèi)空氣流動(dòng)模式考慮燈具的選擇和布置。當(dāng)天花板是垂直的單向送風(fēng)口時(shí)，例如：大型集成電路廠的光刻車間，其高效過(guò)濾器出風(fēng)口的面積有時(shí)可以達(dá)到天花板面積的80％左右，這是在燈的布局上造成困難。

此時(shí)，選擇淚珠型熒光燈是合適的。該燈對(duì)氣流的影響很小，可以安裝在專用鋁制成的高效過(guò)濾器中。型材框架的下側(cè)不妨礙空氣供應(yīng)，并有效利用了僅天花板空間。根據(jù)不同的天花板模塊，可以選擇不同長(zhǎng)度的燈。